Nova proizvodna tehnologija omogućuje vertikalne 3D NAND tranzistore, SSD-ove većeg kapaciteta

Applied Materials skinuo je omot s novog sustava za jetkanje namijenjenog pretvaranju vertikalno naslaganih trodimenzionalnih tranzistora iz laboratorijskih eksperimenata u komercijalnu stvarnost. Novi Centura Avatar rješava višestruke probleme s kojima se suočavaju proizvođači koji su zainteresirani za 3D NAND, ali smatraju da njihova trenutna oprema nije dorasla zadatku da je zapravo naprave. Iako danas posebno govorimo o 3D NAND-u, brojni izazovi skaliranju flash memorije odnose se i na skaliranje CPU logike.

Neki od vas mogu se sjetiti našeg budućnost priča o skaliranju CPU-a od ranije ove godine, gdje smo istraživali višejezgrene CPU trendove, kao i vrhunske proizvodne materijale i tehnike. Očekuje se da će slaganje 3D čipova biti kritična komponenta proizvodnje NAND-a u sljedećem desetljeću. Važno je shvatiti da postoje dvije vrste '3D proizvodnje'. Jedna metoda odnosi se na hrpe konvencionalnog 2D ravnog silicija; drugi - o čemu danas govorimo - odnosi se na zapravo izgradnju 3D NAND strukture.

Prvo, malo konteksta.



Sveukupno flash tržište

Proizvodnja NAND-a je ogroman posao. Ključ za razumijevanje zašto primijenjeni materijali guraju 3D NAND, međutim, nije veliki grafikon potražnje za bljeskalicom - to je mali graf s oznakom 'Nevjerojatno smanjenje troškova / bita'. Povećajmo.

Smanjenje troškova

Prelazak sa 100 nm na 60 nm smanjio je troškove za gotovo red veličine. Proizvođači su se tome približili tijekom sljedeća dva skoka, sa 60nm na 40nm. 40nm do 20nm, naprotiv, jedva pomiče šipku. Nakon 20nm, crta se jednostavno povuče u slabu projekciju: 'Hej, kad-tad ćemo nešto izvući!' To je problem s kojim se suočava ravničarski silicij i to je pitanje o kojem smo već razgovarali.

Što učiniti ako ne možete shvatiti kako učinkovito razmjestiti ravninsku proizvodnju ispod 20nm? Preispitujete proizvodni postupak. Konkretno, uzimate konvencionalni 2D NAND:

Tradicionalni 2D NAND

Preklopite ga jednom (dali smo si slobodu nadimku ovaj privremeni korak dati NANDwich).

NANDwich

I stani na rub.

3D NAND

Zašto je 3D NAND težak

Prema ljudima iz Applied Materials, pokušaj izgradnje 3D NAND struktura u stvarnom životu bio bi poput pokušaja kopanja jednog kilometra dubokog, tri kilometra dugog rova ​​sa zidovima tačno tri metra, kroz isprepletene slojeve stijena - i to je prije nego što razgovaramo o rovovima ili stubištima. Uobičajeni sustavi za jetkanje bave se omjerom stranica 3: 1 - 4: 1, za 3D nagrizanje potreban je omjer 20: 1 ili više - a to nije lako izvesti.

Avatar Etch

Avatar je dizajniran za postizanje glatkih vertikalnih bočnih zidova bez savijanja ili savijanja, za glatki prijelaz između zamjenskih slojnih slojeva i za Stop u pravoj točki prilikom nagrizanja kontakata na NAND 'stubištu'. Ova posljednja točka je kritična - ako se stroj ne zaustavi točno na pravoj točki, probit će se u sljedeći sloj ili temeljnu podlogu, uništavajući stanice.

Postupak izrade 3D NAND bljeskalica

Avatar sustav dizajniran je da istodobno gravira i masku i dielektrik, kako bi se zadržali dodatni troškovi opreme od baloniranja i ukupne propusnosti. Kritično se može koristiti i za produljenje vijeka trajanja starijih geometrija procesa dopuštajući proizvođačima da izgrade 3D NAND na 40-50nm procesima. Iako bi takve strukture i dalje bile veće od ekvivalentnih čipova izgrađenih na tehnologiji 30-20nm, strašan dobitak u učinkovitosti prelaskom u vertikalnu verziju više će nego nadoknaditi razliku.

Što se tiče kada će 3D čipovi biti dostupni za komercijalnu kupnju, Applied Materials je po tom pitanju bio neodređen. Iskreno, ne očekujemo da ćemo ih vidjeti u bliskoj budućnosti. Nova oprema Avatara skupa je i ne može se zamijeniti na kapaljku. Važno je da pruža način za smanjenje troškova / GB i povećanje gustoće matrice bez oslanjanja samo na nove procesne čvorove ili na istiskivanje više bitova u svaku NAND ćeliju. Značajan je korak naprijed kada industrija poluvodiča nije baš razmažena zbog mogućnosti skaliranja, a očekujemo da ćemo u godinama koje slijede vidjeti tvrtke koje će usvajati novu opremu za nagrizanje.

Copyright © Sva Prava Pridržana | 2007es.com